1. Het vacuümsysteem: mechanische pomp, roterende vinpomp, wortelspomp, moleculaire cryogene pomp,
pomp, met koude val van hoog vacuüm van de de pomp groot pompend snelheid van de olieverspreiding de extractiesysteem,
steunende pomp facultatieve olievrije vacuümpomp, roestvrij staalpijpen en kleppen.
2. Het deklaagsysteem: de 1 reeks - zes reeksen van high-power magnetische afbuiging 270 het elektronenkanon van ° e en
veelvoudige puntsmeltkroes, de bijgestane van de de configuratiezaal van het depositosysteem ionenbron en weerstand van
verdampingsbron.
3. Het opblazen van systeem: automatische gasdebietmeter en het instrumentencontrole van de stroomvertoning.
4. Controlesysteem: het kleurentouche screen, PLC, de automatische en handcontrole kunnen bij om het even welk worden omgezet
tijd. De vertoning in real time detailleerde parameters, volledig automatische controle van het volledige productieproces,
automatische opslagprocédé parameters. De belangrijkste elektrocomponenten zijn beroemde merken zoals
Schneider.
5. Veiligheidssysteem: vestiging het akoestische optische alarmapparaat van water, elektriciteits en gasanomalie, en
het uitvoeren van de overeenkomstige beschermingsprocedure.
6. Het verwarmen en het bakken systeem: keur een verwarmend lichaam van de roestvrij staalbuis goed, kan de substraattemperatuur
het bereik 350 graden, de meter van de temperatuurcontrole keurt het Japanse geleidende instrument goed,
de precisie van de temperatuurcontrole is plus of minus 1 graad Celsius.
7. De controle van de filmdikte: van de de filmdikte van het kwartskristal het controlesysteem, dat kan controleren
het verdampingstarief van het elektronenkanon, controleert nauwkeurig de filmdikte, en automatisch schakelaar gemakkelijk
en automatisch.
8. Elektronenkanon en de verdampingsbron: de krachtbron van het elektronenkanon keurt de machtsfrequentie goed
voltagestijging, digitale controlekringen, die met hoge druk automatische bescherming vonken, restauratie en
de regelmatige straalfunctie, afstandsbediening, kan met de diktemeter van het kwartskristal in nauw contact staan met, met een laag bedekkend proces
automatische controle.
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
