1. Vacuümdeklaagruimte: verticale enige ruimte, multi-ruimte of horizontale enig, multi-kamerstructuur

de selectie, 304 roestvrij staalmateriaal, de efficiënte diameter van de luchtledige kamer is 800mm 3500mm,

met waterkoelingsstructuur, enz.

2. Vacuümsysteem: mechanische pomp, roterende vinpomp, wortelspomp, moleculaire pomp, lage temperatuur

de pomp, de hoge vacuümpomp van de olieverspreiding met koude goed, de hoge vacuümpomp van de olieverspreiding, keurt roestvrij staal goed

pijp en klep.

3. Deklaagsysteem: 2 reeksen van 2-10 reeksen van vlak doel of kolomdoel, gelijkstroom-magnetron het sputteren, DC+RF

magnetron het sputteren, HDAP-deklaag.

4. Het opblazen van systeem: 1-4 de meter van de gasstroom en de controle van de stroomindicator.

5. Controlesysteem: het touche screen, PLC, de automatische en handcontrole kunnen op elk ogenblik worden omgezet. Echt

de tijdvertoning detailleerde parameters, volledig automatische controle van het volledige automatische productieproces,

opslagprocédé parameters. De belangrijkste elektrocomponenten zijn beroemde merken zoals Schneider.

6. Veiligheidssysteem: de vestiging het geluid en het licht alarmeert apparaat van water, elektriciteits en gasanomalie, en

het uitvoeren van overeenkomstige beschermingsprocedures.

7. Helper die pompen: een snelle doorgevende de dampval van het lage temperatuurwater.

8. Verwarmingssysteem: de temperatuur van de grondplaat kan 350 graden met de buis en andere bereiken

het verwarmen elementen.

9. Kan met veelvoudige doelbronnen volgens klantenvereisten worden uitgerust.