De machine is bestaat uit luchtledige kamer, vacuüm pompend systeem, bias voeding, die systeem met een laag bedekken,
 
werkstuk roterend systeem, koelsysteem en elektro controlerend systeem.
 
 

(1). Voeding: vijf-draad in drie stadia, 380V±5%, 50Hz, met grondweerstand<5>

(2). Samengeperste lucht: 0.5~0.7Mpa.

(3). Het koelwater kan stadsleidingwater gebruiken, is het gedeioniseerde water best. De temperatuur van koelwater zou moeten

minder dan 25 °C. zou de Waterdruk 0.2Mpa moeten zijn aan 0.4Mpa. En het watermiddel zou moeten hebben

capaciteit om nieuw water in tarief meer dan één honderd liter per minuut toe te voegen.

(4). Milieuvoorwaarde: De vloer, het plafond en de muren zouden schoon moeten zijn. De binnenlucht zou schoon, droog moeten zijn en

geen-stof. Geen brandbaar, explosief en corrosief gas binnen.

(5). Deklaaglucht: Ar2, C2H2, N2, O2, hoge zuiverheid (≥99.99%).